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P-7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來(lái)看， P-7具有較好的測(cè)量重復(fù)性。

KLA先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，帶有電動(dòng)載物臺(tái)。可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

產(chǎn)品類型：白光、共軛焦、非接觸 μSurf結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤(pán)取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，精確量測(cè)物體高度(如下圖所示)。 由于使用了共軛焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他同類公司產(chǎn)品使用較多的干涉法相比，可以精確量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。

μScan采用模塊化設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化，μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器，(Z方向測(cè)量)連用，如Confocal point sensor、Autofocus sensor、 Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。

AF2 自動(dòng)對(duì)焦(Autofocus) 借由探測(cè)器的回饋訊號(hào)調(diào)整物鏡位置，得到待測(cè)物焦點(diǎn)，而獲得待測(cè)物的確實(shí)高度(如下左圖)。 CF4 共軛焦(Confocal, Laser) 激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上，此時(shí)偵測(cè)器能經(jīng)由孔洞得到Z大光的強(qiáng)度，如此偵測(cè)器根據(jù)此訊號(hào)確定其位置