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Product Center當前位置:首頁產(chǎn)品中心TEM氮化硅薄膜窗口
與X射線用氮化硅窗口類似,透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口也使用低應力氮化硅薄膜基底。但整體尺度更小,適合TEM裝樣的要求。窗口有單窗口和多窗口陣列等不同規(guī)格。同時SHNTI也定制多孔氮化硅薄膜窗口。
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透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口
產(chǎn)品概述:
與X射線用氮化硅窗口類似,透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口也使用低應力氮化硅薄膜基底。但整體尺度更小,適合TEM裝樣的要求。窗口有單窗口和多窗口陣列等不同規(guī)格。同時SHNTI也定制多孔氮化硅薄膜窗口。
現(xiàn)在SHNTI可以提供透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗系列產(chǎn)品,規(guī)格如下:
外框尺寸:
邊框厚度: 200μm、381μm。
Si3N4薄膜厚度: 50nm、100nm
SHNTI也可以為用戶定制產(chǎn)品(30-200nm),但要100片起訂。
本產(chǎn)品為一次性產(chǎn)品,SHNTI不建議用戶重復使用,本產(chǎn)品不能進行超聲清洗,適合化學清洗、輝光放電和等離子體清洗。
技術(shù)指標:
表面平整度:
我們認為薄膜與其下的硅片同樣平整, TEM用氮化硅薄膜窗口的表面粗糙度為:0.6-2nm。*適用于TEM表征。
親水性
該窗格呈疏水性,如果樣品取自水懸浮液,懸浮微粒則不能均勻地分布在薄膜上。用等離子蝕刻機對薄膜進行親水處理,可暫時獲得親水效果。雖然沒有對其使用壽命進行過測試,但預期可以獲得與同樣處理的鍍碳TEM網(wǎng)格相當?shù)膲勖?。我們可以生產(chǎn)此種蝕刻窗格,但無法保證其使用壽命。如果實驗室有蝕刻工具也可對其進行相應的處理提高其親水性能。
溫度特性:
氮化硅薄膜窗口產(chǎn)品是耐高溫產(chǎn)品,能夠承受1000度高溫,非常適合在其表面利用CVD方法生長各種納米材料。
化學特性:
氮化硅薄膜窗口是惰性襯底。
應用簡介和優(yōu)點:
1、 適合TEM、SEM、AFM、XPS、EDX等的對同一區(qū)域的交叉配對表征。
2、 大窗口尺寸,適合TEM大角度轉(zhuǎn)動觀察。
3、 無碳、無雜質(zhì)的清潔TEM觀測平臺。
4、 背景氮化硅無定形、無特征。
5、 耐高溫、惰性襯底,適應各種聚合物、納米材料、半導體材料、光學晶體材料和功能薄膜材料的制備環(huán)境,(薄膜直接沉積在窗口上)。
6、 生物和濕細胞樣本的理想承載體。特別是在等離子體處理后,窗口具有很好的親水性。。
7、 耐高溫、惰性襯底,也可以用于化學反應和退火效應的原位表征。
8、 適合做為膠體、氣凝膠、有機材料和納米顆粒等的表征實驗承載體。
氮化硅薄膜應用范圍非常廣,甚至有時使不可能變?yōu)榭赡?,但所有應用都有無氮要求(因樣本中有氮存在):
惰性基片可用于高溫環(huán)境下,通過TEM、SEM或AFM(某些情況下)對反應進行動態(tài)觀察。
作為耐用基片,首先在TEM下,然后在SEM下對同一區(qū)域進行“匹配”。
作為耐用匹配基片,對AFM和TEM圖像進行比較。
聚焦離子束(FIB)樣本的裝載,我們*使用多孔薄膜,而非不間斷薄膜。
許多研究納米微粒,特別是含氮納米微粒的人員發(fā)現(xiàn)此種薄膜窗格在他們實驗中*。氣凝膠和干凝膠的基本組成微粒尺寸極小,此項研究人員也同樣會發(fā)現(xiàn)氧化硅薄膜窗格的價值。
優(yōu)點:
• SEM應用中,薄膜背景不呈現(xiàn)任何結(jié)構(gòu)和特點。
• x-射線顯微鏡中,裝載多個分析樣的*方法。
• 無氮
高溫應用,氮化硅薄膜在
使用前清潔:
氮化硅薄膜窗格在使用前不需進行額外清潔。有時薄膜表面邊角處會散落個別氧化物或氮化物碎片。由于單片網(wǎng)格需要從整個硅片中分離,并對外框進行打磨,因此這些微小碎片不可避免。盡管如此,我們相信這些碎片微粒不會對您的實驗產(chǎn)生任何影響。
如果用戶確實需要對這些碎片進行清理,我們建議用H2SO4 : H2O2 (1:1)溶液清潔有機物,用H2O:HCl: H2O2 (5:3:3)溶液清潔金屬。
通常不能用超聲波清洗器清潔薄膜,因超聲波可能使其粉碎性破裂。
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