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外延薄膜設(shè)備
021-64283335
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國產(chǎn)PLD脈沖激光分子束外延裝置。 脈沖激光分子束外延成膜法PLD/Laser MBE是將脈沖激光通過合成石英窗導(dǎo)入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成羽輝,升華出來的靶材堆積到設(shè)在對面的基板上而形成膜
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