產(chǎn)品中心
Product Center自由曲面三維面型檢測儀 自由曲面光學元件應用于智能車載顯示、AR 顯示、手機鏡頭、激光顯示、照明、 光刻等前沿領域,自由曲面三維面型檢測儀,能夠非接觸測量光學鏡面元件的三維面型數(shù)據(jù),開展三維輪廓分析和三維誤差比對,并生成包含多項面型誤差指標的測量報告。 從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)過程及質(zhì)量控制,這款獨立的系統(tǒng)可用于開展光學設計、加工與檢測的前端研發(fā)設計過程、智能生產(chǎn)過程和后端質(zhì)量檢測過程。
具備三維翹曲(平整度)及薄膜應力的檢測功能,適用于半導體晶圓生產(chǎn)、半導體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)
Strain Viewer 內(nèi)應力檢測儀 具備化合物晶圓內(nèi)應力分布測量及缺陷篩查等檢測功能