納米壓痕儀可輕松測(cè)量硬涂層,薄膜和少量材料。該儀器準(zhǔn)確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級(jí)測(cè)試等多種納米級(jí)機(jī)械測(cè)試。
可互換的驅(qū)動(dòng)器能夠提供大動(dòng)態(tài)范圍的力荷載和位移,使研究人員能夠?qū)浘酆衔锏接操|(zhì)金屬和陶瓷等材料做出精確及可重復(fù)的測(cè)試。
模塊化選項(xiàng)適用于各種應(yīng)用:材料性質(zhì)分布、特定頻率測(cè)試、刮擦和磨損測(cè)試以及高溫測(cè)試。
微納米壓痕儀(高溫)通過(guò)在真空環(huán)境中單加熱jian端和樣品來(lái)測(cè)量高溫下的硬度、模量和硬度。INSEM®HT與掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)或立真空室兼容。
技術(shù)中用到的壓頭一般均選用硬度和彈性模量均很高的材質(zhì),其主要目的在于最大限度減小測(cè)試過(guò)程中壓頭與試件接觸時(shí)壓頭受力產(chǎn)生的變形,從而降低對(duì)于壓入深度的測(cè)量誤差。
一般情況下選用金剛石作為壓頭材料,金剛石硬度高、熱膨脹系數(shù)小、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、導(dǎo)熱系數(shù)大。而在某些特殊工作條件下,藍(lán)寶石、立方氮化硼(cBN)、碳化硅(SiC)、碳化鎢等材料也廣泛被用于加工壓頭。
常用的仍然是金剛石壓頭、立方氮化硼壓頭和藍(lán)寶石壓頭。壓頭根據(jù)其形狀主要可以分為錐形、平頭、球形和楔形等等,錐形壓頭主要包括常用的三棱錐玻氏壓頭和立方角壓頭,四棱錐的維氏壓頭和努氏壓頭,不同錐角的圓錐形洛氏壓頭以及球形的布氏壓頭。