三維光學輪廓測量儀是利用光學顯微技術、白光干涉掃描技術、計算機軟件控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量,還原出工件3D表面形貌宏微觀信息,并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理,實現(xiàn)對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學計量儀器。
三維光學輪廓測量儀只需操作者裝好被測工件,在檢定軟件上設定物鏡倍率和測量模式后點擊“開始”按鈕,光學物鏡會對工件表面進行自動對焦和非接觸掃描,并按設定的位置進行測量,軟件界面會實時掃描物體宏微觀表面形貌;掃描結(jié)束后,操作者可通過分析工具對生成的3D形貌進行分析,得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數(shù)據(jù)。
三維光學輪廓儀有精度高、使用方便、功能強等優(yōu)點,采用非接觸式傳感器掃描技術,用于對各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進行測量和分析,它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便,測量精度更高。
由于采用非接觸無損的測量方式,避免了對被測物體造成劃痕和磨損,尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。
還能夠?qū)Ω鞣N表面的工件和材料從宏觀到微觀的進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑、表面粗糙度等幾何參數(shù)進行亞微米、納米級測量和分析。
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